薄膜厚度对AZO薄膜光电性能的影响
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【文章作者】范丽琴; |
【文章摘要】 通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备AZO薄膜,研究膜层厚度对AZO薄膜光电特性的影响。发现随着膜层厚度的增加,AZO薄膜在可见光区的平均透射率略微增长,而方块电阻和电阻率却显著递减,导致其品质因子随厚度增加而增加。在薄膜厚度为395 nm时,获得电阻率为3.24×10-3Ωcm,可见光区平均透射率为85.52%,品质因子为25.52×10-4Ω-1的光电性能良好的透明导电薄膜。本文制备的薄膜具有较优的透明导电性,可以广泛应用于太阳能电池、平板显示器等光电领域。 |
【关 键 字】透明导电膜;;掺铝氧化锌;;磁控溅射;;光电学性质 |
【期刊】陶瓷学报【卷】【ISSUE】【ISSUEID】
【文章期份】2015
【发布日期】2015/3/24 0:00:00
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