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磁控溅射Ti-50%Zr合金薄膜不同厚度时的结构
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| 【文章作者】张延志;管卫军;郑黎荣;赖新春;汪小琳; |
| 【文章摘要】 为了研究Ti-Zr合金薄膜厚度对其结构的影响,通过磁控溅射沉积技术在7105载玻片上制备了不同厚度的Ti-50%Zr(原子分数)合金薄膜。利用X射线衍射(XRD)、X射线吸收精细结构谱(XAFS)和X光电子谱(XPS)技术研究了Ti-Zr合金薄膜的晶体结构、元素局域结构和电子结构状态。结果表明,随着Ti-50%Zr薄膜厚度的减小,薄膜由结晶态变为非晶态,薄膜中元素的最近邻原子距离和配位数减小,薄膜中元素的电子结合能逐渐增强。 |
| 【关 键 字】Ti-50%Zr合金;;薄膜厚度;;薄膜结构 |
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【期刊】【卷】【ISSUE】【ISSUEID】
【文章期份】2015
【发布日期】2016/2/26 0:00:00
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