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碳热还原氮化制度对TiN薄膜制备影响的研究
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| 【文章作者】董占亮;王瑞生;魏颖娜;魏恒勇;于云;卜景龙;崔燚; |
| 【文章摘要】 以四氯化钛乙醇溶液为钛源,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为碳源,采用碳热还原氮化技术制备氮化钛薄膜。利用XRD、FE-SEM和UV-VIS-NIR研究了合成温度和保温时间对氮化钛薄膜显微结构和光学性能的影响。结果表明,当合成温度为1250℃时,薄膜物相仍为金红石型TiO_2和Ti_3O_5;合成温度为1300℃时,薄膜为单一氮化钛物相,氮化钛颗粒呈典型的三角锥型。保温时间为5 h时,薄膜中氮化钛晶体发育更明显,薄膜在近红外区域的反射率可达70%,但保温时间延长到7 h时,薄膜中物相转变为碳化钛,石英玻璃基体中还析出了方石英。 |
| 【关 键 字】碳热还原氮化;;氮化钛;;薄膜 |
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【期刊】【卷】【ISSUE】【ISSUEID】
【文章期份】2016
【发布日期】2016/3/15 0:00:00
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